目前�
一、LED�(lán)寶石基板加工工藝
首先對于�(lán)寶石基板來說，它在成為一片合格的襯底之前大約�(jīng)歷了從切割、粗磨、精磨、以及拋光幾道工序。以2英寸�(lán)寶石為例�
1.切割：切割是從藍(lán)寶石晶棒通過線切割機(jī)切割成厚度在500um左右的毛片。在這項制程中，金剛石線鋸是最主要的耗材，目前主要來自日本、韓國與臺灣地區(qū)�
2.粗拋：切割之后的�(lán)寶石表面非常粗糙，需要�(jìn)行粗拋以修復(fù)較深的刮傷，改善整體的平坦度。這一步主要采�50~80um的B4C加Coolant�(jìn)行研磨，研磨之后表面粗糙度Ra大約�1um左右�
3.精拋：接下來是較精細(xì)的加工，因為直接�(guān)系到最后成品的良率與品�(zhì)。目前標(biāo)�(zhǔn)化的2英寸�(lán)寶石基板的厚度為430um，因此精拋的�?cè)コ考s�30um左右。考慮到移除率與最后的表面粗糙度Ra，這一步主要以多晶鉆石液配合樹脂錫盤以Lapping的方式�(jìn)行加工�
大多�(shù)�(lán)寶石基板廠家為了追求�(wěn)定性，多采用日本的研磨�(jī)臺以及原廠的多晶鉆石液。但是隨著成本壓力的升高以及國內(nèi)耗材水準(zhǔn)的提升，目前國內(nèi)的耗材�(chǎn)品已�(jīng)可以替代原廠�(chǎn)品，并且顯著降低成本�
說到多晶鉆石液不妨多說兩句，對于多晶鉆石液的微粉部分，一般要求顆粒度要集中，形貌要規(guī)整，這樣可以提供持久的切削力且表面刮傷比較均勻。國�(nèi)可以生產(chǎn)多晶鉆石微粉的廠家有北京國瑞升和四川久遠(yuǎn)，而國瑞升同時可以自己生產(chǎn)鉆石液，因此在品�(zhì)與成本上具有較大�(yōu)勀美國的Diamond Innovation最近推出了“類多晶鉆石� ，實際是對普通單晶鉆石的一種改良，雖然比較堅固的結(jié)�(gòu)能提供較高的切削力，但是同時也更容易造成較深的刮傷�
4.拋光：多晶鉆石雖然造成的刮傷明顯小于單晶鉆石，但是仍然會在�(lán)寶石表面留下明顯的刮傷，因此還會�(jīng)過一道CMP拋光，去除所有的刮傷，留下完美的表面。CMP工藝原本是針對矽基板�(jìn)行平坦化加工的一種工藝，�(xiàn)在對�(lán)寶石基板同樣適用。經(jīng)過CMP拋光工藝的藍(lán)寶石基板在經(jīng)過層層檢測，�(dá)到合格準(zhǔn)的產(chǎn)品就可以交給外延廠�(jìn)行磊晶了�
二、芯片的背部減薄制程
磊晶之后的藍(lán)寶石基板就成為了外延片，外延片在�(jīng)過蝕刻、蒸鍍、電極制作、保�(hù)層制作等一系列�(fù)雜的半導(dǎo)體制程之后，還需要切割成一粒粒的芯片，根據(jù)芯片的大小，一�2英寸的外延片可以切割成為�(shù)千至上萬個CHIP。前文講到此時外延片的厚度在430um附近，由于藍(lán)寶石的硬度以及脆性，普通切割工藝難以對其�(jìn)行加工。目前普遍的工藝是將外延片從430um減薄�100um附近，然后再使用鐳射�(jìn)行切割�
1.Grinding制程�
對外延片以Lapping的方式雖然加工品�(zhì)較好，但是移除率太低，最高也只能�(dá)�3um/min左右，如果全程使用Lapping的話，僅此加工就需耗時�2h,時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通過鉆石砂輪與減薄機(jī)的配合來�(dá)到快速減薄的目的�
2.Lapping制程
減薄之后再使�6um左右的多晶鉆石液配合樹脂銅盤，既能達(dá)到較高的移除率，又能修復(fù)Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中�(fā)生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除，因此此時對鉆石液的要求也比較高�
除了裂片之外，有些芯片廠家為了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅，此時對Lapping之后的表面提出了更高的要求。雖然有些刮傷不會引起裂片，但是會影響背鍍的效果。此時可以采�3um多晶鉆石液或者更小的�(xì)微性來�(jìn)行Lapping制程，以�(dá)到更好的表面品質(zhì)�
�(guān)注我�
公眾號：china_tp
微信名稱：亞威資�
顯示行業(yè)頂級新媒�
掃一掃即可關(guān)注我�
�(chǎn)品供�| 雜志期刊| �(xié)會服�(wù)| 專題�| �(guān)于我�|�(wǎng)站地�|版權(quán)聲明| 廣告服務(wù)
Copyright © 2018 深圳市美嘉投資有限公�. All Rights Reserved 版權(quán)所� 粵ICP�12048185�-1
中華顯示�(wǎng)所載文章、數(shù)�(jù)僅供參考，使用前務(wù)請仔�(xì)閱讀法律聲明，風(fēng)險自�(fù)�
媒體合作:0755-86149081 廣告咨詢:0755-86149131 Email:[email protected]
