市民生活中離不開的手�(jī)上,都有一塊小小的集成電路芯片。芯片上面各種各樣的紋路,就是由刻蝕�(jī)刻出來的。記者日前從北京電控了解到,由其下屬企業(yè)北方微電子公司自主研�(fā)�12英寸28納米等離子硅刻蝕�(jī),已�(jīng)全面通過工藝�(yàn)證。我國集成電路高端裝備�(jìn)一步加快了追趕國際水平的腳步,技�(shù)水平已經(jīng)�2003年的“20年差�”縮短�“只差3�”�
28納米,相�(dāng)于人體一根頭�(fā)的萬分之一粗細(xì)。生�(chǎn)一塊手�(jī)使用的電子芯片,一般需�18種機(jī)器設(shè)備、累�(jì)400多道工序,而刻蝕機(jī)就是其中的重要設(shè)備之一�
去年年末,北方微電子公司自主研發(fā)的這款12英寸28納米等離子硅刻蝕�(jī),全面通過中芯國際生產(chǎn)線全流程工藝�(yàn)證,并獲得客戶訂單,�(biāo)志著中國集成電路高端裝備國產(chǎn)化取得新的突破�
在北方微電子公司突破28納米刻蝕技�(shù)前,國際上也僅美國和日本各有一家企�(yè)能夠提供滿足28納米生產(chǎn)線的成熟�(shè)備。長期以來,高端刻蝕�(shè)備一直是制約我國集成電路�(chǎn)�(yè)�(fā)展的瓶頸,因此,北方微電子將28納米硅刻蝕設(shè)備推向市場,�(biāo)志著我國在高端集成電路裝備領(lǐng)域,第一次實(shí)�(xiàn)與主流生�(chǎn)線的需求同步�
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