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　　平板顯示在生產過程中有許多薄膜制程，而鍍膜用的原材料——靶材就顯得非常重要。作為國內第一個專業生產靶材的公司，歐萊集團周紀平博士在第十屆中國國際顯示大會做了“TFT靶材的生產和綁定技術”主題演講

　　                        歐萊集團周紀平博士

　　周紀平首先談到高層鉬靶的生產。據介紹，鉬是一種灰色的過渡金屬，屬于難熔金屬。鉬因具有優良的導電性、熱穩定性，且其熱脹系數與鍍膜玻璃接近，在平板顯示（FDP）領域被用作基電極涂層。在電子行業中，鉬濺射靶材主要用于平面顯示器、薄膜太陽能電池的電極和配線材料以及半導體的阻擋層材料。這些是基于鉬的高熔點、高電導率、較低的比阻抗、較好的耐腐蝕性以及良好的環保性能。以前平面顯示器的配線材料主要是鉻，但隨著平面顯示器的大型化和高精度化，越來越需要比阻抗小的材料，可使液晶顯示器在亮度、對比度、色彩以及壽命方面的性能大大提升。另外，環保也是必須考慮的問題。而鉬具有比阻抗和膜應力僅為鉻的1 /2的優勢，而且不存在環境污染問題，因此成為了平面顯示器濺射靶材的首選材料之一。

　　對于靶材的質量要求，周紀平介紹，“靶材的化學要求是高純度，因為純度如果不高的話，鍍出來的膜會由于各種雜質的存在影響薄膜的性能。行業認為高純度鉬靶至少得99.95%，甚至更高。靶材除了化學純度的要求以外，還有致密度的要求，如果致密度不好的話，由于內部孔隙的存在，會造成微粒飛濺。這是靶材致密度高的腐蝕以后輪廓比較明顯，而如果靶材致密度不好，腐蝕以后輪廓就比較模糊。”

　　他也介紹，濺射鍍膜的過程中，致密度較小的濺射靶受轟擊時，由于靶材內部孔隙內存在的氣體突然釋放，造成大尺寸的靶材顆粒或微粒飛濺，或成膜之后膜材受二次電子轟擊造成微粒飛濺。這些微粒的出現會降低薄膜品質。為了減少靶材固體中的氣孔，提高薄膜性能，一般要求濺射靶材具有較高的致密度。對鉬濺射靶材而言，其相對密度應該在98%以上。而鋁靶也存在質量要求，包括化學純度、致密度、尺寸公差等方面的數據要求。

　　周紀平介紹，綁定是釬焊劑將靶材和背板或背管連接起來，這是靶材綁定的質量要求。“歐萊靶材至今為止已經有十幾年的歷史，是國內第一家專業生產靶材的公司。經過最近四年的艱苦努力，8代液晶面板用大型靶材成功下線。近幾年歐萊靶材投資購買了很多用于提高生產能力和質量的各種設備，包括萬噸冷等靜壓機、超高溫燒結爐、真空中頻熔煉爐、空氣錘、熱軋機、大型真空熱處理爐等。

　　對于歐萊未來發展定位，周紀平介紹，“歐萊現正在致力于各種TFT行業用靶材的制造國產化工作。提高靶材產品質量、降低用戶的靶材使用成本永遠是我們的責任。”